儀器簡介：

功能特點：可在低真空下觀察成分像、陰影像和凹凸像。樣品室空氣壓力大于5Pa，可實現(xiàn)對不導(dǎo)電樣品的無噴涂觀察。

優(yōu)勢：快速抽真空，操作簡便，快速得到圖像。

主要技術(shù)參數(shù)：

1.放大倍率：低倍模式 15 – 60 k。

2.鎢燈絲電子槍加速電壓：15 kV、 5 kV。

3.手動樣品臺樣品臺可移動范圍：X: ±17.5 mm；Y: ±17.5 mm。

4.檢測器配置：背散射電子檢測器（檢測器窗口數(shù)目≥ 4個）。

應(yīng)用領(lǐng)域：

金屬、半導(dǎo)體等材料的顯微形貌觀察與分析。