儀器簡介：

功能特點：金屬、陶瓷等耐離子束樣品的減薄、清潔、拋光、切割。

優勢：操作簡便，高效處理樣品，安全。

主要技術參數：

1.兩把非聚焦型的鞍型場槍，可對樣品的大面積區域進行離子拋光或減薄。

2.離子束加速電壓調節范圍：0.8 kV - 10 kV（0.1 keV每步）；離子束流：最大4.5mA。

3.樣品臺傾斜范圍：-120°至210°（精確度為0.1°）。

4. SEM平面研磨樣品臺：最大Φ25mm×12mm；TEM和FIB樣品臺：Φ3mm。

應用領域：

1.金屬、陶瓷等材料TEM樣品的制備。

2.SEM樣品表面清潔、拋光。

3.FIB切片樣品表面清潔、去非晶層。